微光显微镜(Emission Microscope，EMMI)是一种在半导体制造和测试过程中至关重要的故障分析和失效检测工具。通过侦测半导体器件内部因缺陷或异常而释放的微量光子，实现对元件缺陷的精确定位和分析。当给缺陷/失效半导体元件施加电压时，元件中电子-空穴对结合产生光子，或者元件的热载子释放出多余的动能，这些光子以光子的形式呈现，并被EMMI所侦测到。这些被侦测到的故障点也被称为亮点或热点(Hot spot)。

　　自主研发的EMMI，凭借其配备的高增益相机与探测器，以及先进的图像处理技术，能够精准捕捉到这些微弱的光子信号。该设备在检测过程中不会对被测元件造成任何物理损伤，确保了测试的准确性与可靠性。在半导体领域，EMMI不仅能够协助技术人员精确定位缺陷、深入理解失效机制，从而改进制造工艺、提高产品质量;同时，它还可用于检测半导体器件的多种失效情况，如漏电结、接触毛刺、闩锁效应以及氧化层漏电等。EMMI作为一种高效的故障分析和失效检测工具，在半导体领域具有广泛的应用前景和重要的技术价值。