● 0.4 fA p-p (4E-16A) 噪声 ( 典型值 )

● 电压测量中 >1016W 输入电阻

● 高速 — 高达 2000 个读数 / 秒

● 高达 6 位半分辨率

● 0.012% 基本电压准确度；0.025% 基本电流准确度

2、2510 和 2510-AT TEC 和自动调谐

TEC 源表 SMU 仪器

● 50 W TEC 控制器，结合 DC 测量功能

● 全数字 P-I-D 控制；自动调谐功能，适用于热控制环路

(2510-AT)

● 在激光二极管模块测试期间控制温度

● 宽温度设置点范围 (-50℃ ~ +225℃ ) 及高设置点分辨率

(±0.001℃ ) 和稳定性 (±0.005℃ )

● 兼容各种温度传感器输入：热电阻器、RTD 和 IC 传感器

3、2520 脉冲式激光二极管测试系统

● 集成解决方案，在芯片级或杆级对激光二极管进行工艺内

部 LIV 生产测试

● 融合高准确度源和测量功能或脉冲式测试和 DC 测试功能

● 基于 DSP 的同步测量通道，保证高度准确地进行光强度和

电压测量

● 可编程脉冲，时间为 500 ns ~ 5 ms，高 4% 占空比

● 脉冲功能高达 5 A，DC 功能高达 1 A

● 三条测量通道上 14 位测量准确度 (VF, 前面光电二极管、背

面光电二极管 )

● 缓冲器内存中存储多 1000 点扫描，在测试期间消除

GPIB 流量，提高吞吐量

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