产品简介:

　　SP26系列半导体参数分析仪是⼀款半导体电学特性测试系统，具有⾼精度、宽测量范围、快速灵活、兼容性强等优势。产品可以同时⽀持DC电流‐电压（I‐V）、电容‐电压（C‐V）以及⾼流⾼压下脉冲式I‐V特性的测试，旨在帮助加快前沿材料研究、半导体芯⽚器件设计以及先进⼯艺的开发，具有卓越的测量效率与可靠性。

　　基于模块化的体系结构设计，SP26系列半导体参数分析仪可以帮助⽤户根据测试需要，灵活选配测量单元进⾏升级。产品⽀持⾼1200V电压、100A⼤电流、1pA⼩电流分辨率的测量，同时检测10kHz⾄3MHz范围内的多频AC电容测量。

　　SP26系列半导体参数分析仪采⽤专业半导体参数测试软件，⽀持交互式⼿动操作或结合探针台的⾃动操作，能够从测量设置、执⾏、结果分析到数据管理的整个过程，实现⾼效和可重复的器件表征；也可与⾼低温箱、温控模块等搭配使⽤，满⾜⾼低温测试需求。