系统概述:

　　新锐中科功率器件静态参数测试系统，集多种测量功能⼀体，可以精准测量不同封装类型功率器件（如MOSFET、BJT、IGBT，以及SiC、GaN第三代半导体等）的静态参数，具有⾼电压和⼤电流特性、μΩ级导通电阻精确测量、nA级漏电流测量能⼒等特点。⽀持⾼压模式下功率器件结电容测试，如输⼊电容、输出电容、反向传输电容等。

　　系统组成:

　　新锐中科功率器件静态参数测试系统，主要包括测试主机、测试线、测试夹具、电脑、上位机软件，以及相关测试配件等构成。整套系统采⽤新锐中科⾃主开发的测试主机，内置多种规格电压、电流、电容测量单元模块。结合专⽤上位机测试软件，可根据测试项⽬需要，设置不同的电压、电流等参数，以满⾜不同测试需求。测试数据可保存与导出，并可⽣成I-V以及C-V特性曲线。此外，测试主机可与探针台搭配使⽤，实现晶圆级芯⽚测试。